探針臺(tái)用于對(duì)我所自行研制的基于碳材料的納米半導(dǎo)體器件進(jìn)行輔助分析。例如生物、化學(xué)、壓力、光學(xué)傳感器的電流-電壓信號(hào)測(cè)試、三極管特性曲線測(cè)量等，探針臺(tái)是半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試必備和重要的組成部分。尤其是對(duì)于納米器件而言，對(duì)探針臺(tái)的質(zhì)量和精度要求更加苛刻，比如顯微鏡的放大倍數(shù)至少得100倍以上、探針移動(dòng)精度在微米級(jí)別等。它是用數(shù)據(jù)線與測(cè)試臺(tái)連接，共同來(lái)完成對(duì)器件性能的檢測(cè)，探針臺(tái)主要包括顯微鏡，樣品載物臺(tái)，定位針座，測(cè)試儀連接電纜和接口，屏蔽箱等。工作時(shí)，通過(guò)針座將探針直接接觸電極表面，將電信號(hào)傳給測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)試，其主要功能是電信號(hào)的采集、輸入、輸出，是具有獨(dú)立功能的電氣設(shè)備。
主要技術(shù)參數(shù)如下：
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項(xiàng)目
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名稱 |
描述 |
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1
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探針臺(tái)體
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*4英寸載物平臺(tái)，X-Y移動(dòng)行程4英寸x4英寸
*Y方向可快速抽出，方便取放樣品
*無(wú)回差線性移動(dòng)
*工作臺(tái)面可線性快速升降6毫米，精調(diào)慢速升降25毫米
*顯微鏡平臺(tái)移動(dòng)行程1英寸x1英寸 |
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2
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顯微鏡
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*目鏡放大倍率：20倍
*連續(xù)變焦范圍 0.8～5倍
*總放大倍率：16-100倍
* Z軸方向的調(diào)節(jié)范圍為50.8mm
*環(huán)形白色照明光源 |
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3
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磁開關(guān)針座
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* X-Y-Z線性移動(dòng)范圍12mmX12mmX12mm
*無(wú)回差線性移動(dòng)
*牙距 80牙/英寸
*移動(dòng)分辨率1微米
*磁性開關(guān)吸附底座 |
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4
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探針桿
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*管狀探針夾具，1.5米三同軸電纜&接頭
*帶仰角傾斜機(jī)構(gòu) |
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5
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直流探針
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*直徑10微米，硬質(zhì)鎢針
*1.26英寸長(zhǎng)
*10根/盒 |
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6
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屏蔽箱
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*BD-4探針臺(tái)專用屏蔽黑箱
*880毫米長(zhǎng)*710毫米寬*1140毫米高 |
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7
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三同軸轉(zhuǎn)接頭
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*三同軸母頭轉(zhuǎn)三同軸母頭 |
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8
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真空泵
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*7升/分鐘的抽速 |
